探針冷熱臺主要用于半導(dǎo)體行業(yè),其可滿足大多數(shù)用戶晶圓測試應(yīng)用的需求。目前有多種型號可選,包括專業(yè)、高性能、半自動、通用功能和經(jīng)濟(jì)功能等。此外,還可提供必需的消耗品和附件。
根據(jù)探針冷熱臺的結(jié)構(gòu),要實現(xiàn)測試臺的自動化控制,首先要對X、Y、Z移動平臺進(jìn)行機械改造,采用步進(jìn)電機代替原來的手輪。X、Y移動平臺的傳動和導(dǎo)向均采用絲桿與直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),Z軸方向采用滾珠與直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),兩者都具有導(dǎo)向精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好,對溫度變化的敏感性小等特點。但是步進(jìn)電機與導(dǎo)軌是不能直接連接的。為了實現(xiàn)更好的機械耦合,帶來更好的實驗效果,系統(tǒng)中使用了柔性連軸器作為電機與導(dǎo)軌的中間紐帶。再加工相應(yīng)的機械零件將電機固定于測試臺上。
采用單片機作為下位機的主控芯片,單片機具有與眾不同的功能和特點,超低功耗設(shè)計可以提高電源的效率,節(jié)省電能,眾多的片內(nèi)外圍設(shè)備可以減少成本的投入,方便的開發(fā)平臺和Flash型現(xiàn)場更新功能可以有效加速產(chǎn)品的開發(fā)進(jìn)程。
單片機先通過串口接收上位機界面的命令信息,再根據(jù)相應(yīng)的命令通過相應(yīng)的算法之后控制三個電機的轉(zhuǎn)與否,正轉(zhuǎn)或者反轉(zhuǎn),以及轉(zhuǎn)動的步數(shù)和速度。因為探針冷熱臺是接觸式測試探針臺,所以在測量時先對X、Y軸電機進(jìn)行控制,移動到測量位置之后再對Z軸電機進(jìn)行控制。